Описание продукции
Ионная имплантация является очень важной технологией в современном производстве интегральных схем, которая использует машину для ионной имплантации для достижения легирования полупроводников. Она использует вольфрамовую проволоку в качестве катода для испускания электронов для бомбардировки молекул газа, содержащих определенные примесные элементы, производя ионизированные атомы определенных примесей, которые ускоряются электростатическим полем и ударяются о поверхность кремниевой монокристаллической пластины, а затем имплантируются в полупроводник для изменения характеристик проводимости и в конечном итоге формируют структуру транзистора.
Благодаря стабильным высокотемпературным химическим свойствам, малой тепловой деформации и длительному сроку службы вольфрамо-молибденовых материалов, компоненты источника ионов и расходные материалы машин ионной имплантации в полупроводниковой промышленности в основном изготавливаются из вольфрамовых и молибденовых материалов. К этим устройствам относятся защитные трубки для эмиссионных электронных катодов, эмиссионные панели, центральные фиксирующие стержни и проволочные пластины в дуговой камере. Мы совместно называем их вольфрамовыми деталями для ионной имплантации и молибденовыми деталями для ионной имплантации.
Спецификация
|
Номер модели |
Запасные части для имплантации Mo-ионов |
|
Форма |
Индивидуальный |
|
Материал |
Молибден, Вольфрам |
|
Химический состав |
Ср,Пн |
|
Название продукта |
Запасные части для имплантации Mo-ионов |
|
Материал |
вольфрам/сплав вольфрама |
|
Чистота |
99,95% мин. |
|
Форма |
сделано по чертежам |
|
Приложение |
ионная имплантация |
|
Плотность |
10,2 г/см3,19,2 г/см3 |
|
Поверхность |
полированный |
|
Сертификат |
ИСО 9001 и ИСО14001 |
|
Другое имя |
молибденовая часть |
горячая этикетка : запасные части для имплантации ионов мо, поставщики запасных частей для имплантации ионов мо в Китае, завод
