Мишень для распыления алюминия и меди (AlCu)

Алюминий Медная мишень для распыления идеально подходит для ряда отраслей и применений благодаря своей высокой твердости, прочности на разрыв и малому весу. Обычно она содержит 1-3% меди и имеет схожие химические свойства с алюминием.

Отправить запрос

Описание продукции

Алюминиевая медная мишень для распыления идеально подходит для ряда отраслей и приложений благодаря своей высокой твердости, прочности на разрыв и малому весу. Обычно она содержит 1-3% меди и имеет схожие химические свойства с алюминием. AlCu обладает высокими механическими свойствами, отличной обрабатываемостью и пригодностью для высоких температур, поэтому он может быть подходящим материалом для высокопроизводительного алюминиевого сплава. Высокочистая мишень для распыления из сплава AlCu может использоваться в широком спектре промышленных областей от полупроводниковых и электронных функциональных компонентов. Благодаря высокой чистоте 5N, однородному размеру зерна, низкому содержанию кислорода конечный пользователь может получить постоянные скорости эрозии, а также высокую чистоту и однородное тонкопленочное покрытие во время процесса PVD.

При производстве интегральных схем распространено явление диффузии кремния в алюминиевый соединительный слой. Если к алюминию добавить насыщенную концентрацию кремния для образования алюминиево-кремниевого сплава, то проблема может быть эффективно решена. Поэтому мы также производим мишень для распыления из алюминия и кремния AlSi и мишень для распыления из алюминия и кремния и меди AlSiCu для применения в ИС.

Категория	Мишень для распыления сплава
Химическая формула	AlCu
Состав	Алюминий Медь
Чистота	99.9%,99.95%,99.99%
Форма	Пластины, столбчатые мишени, дуговые катоды, изготовленные на заказ
Производственный процесс	Вакуумная плавка,ПМ
Доступный размер	L Меньше или равно 200 мм,W Меньше или равно 200 мм