Чистая цель распыления Ti

Чистое распыляющаяся мишень имеет высокую чистоту, хорошую поверхность, хорошую электрическую и теплопроводность, хорошую ударов, устойчивость к износу и коррозионную стойкость, высокую прочность на растяжение, хорошую пластичность.

Отправить запрос

По сравнению с другими целями, металлические цели имеют более высокий рыночный спрос, чем керамические цели, их производительность выше, а срок службы длится дольше. Для разбросанной цели, чем выше химическая чистота металла, тем лучше проводимость и стойкость к износу пленки, сделанную из нее.

Применение чистой целевой цели Ti

1. Определяющие материалы для покрытия

2. Биологические материалы имплантата

3. Материал Getter: Титан обладает сильной адсорбционной способностью для активных газов и может использоваться в сверхвысоких вакуумных насосах и ионных насосах Sputter

4. Высокотехнологичные электронные информационные материалы: потребление титана высокой чистоты для интегрированных цепей и плоских панелей увеличилось

Спецификация чистого расщепляющегося мишени

Оценка	1 класс, 2 класс
Техника	Спекание, ковкость, отжиг, катание, вакуумное плавление, обработка
Чистота	99.9%-99.995%
Диаметр	<350mm
Толщина	1-100 мм
Размер для бара	Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1 мм)
Размер для трубки	Tube (Target Target, OD: 20 мм -160 мм, толщина: 2-20 мм)
Плотность	4,5 г\/см3
Поверхность	Полированная, яркая, химическая чистка, оксид черного цвета и т. Д.
Форма	Диск, пластина, прямоугольная, квадратная, колонна -мишени,
Стандартный	ASTM B385, GB, JIS