Компоненты из тяжелого вольфрамового сплава (WHA) для ионной имплантации
Как правило, вольфрам и молибден являются важными материалами для компонентов, используемых в системах ионной имплантации, особенно на пути луча. Эти материалы выбраны из-за их способности противостоять суровым условиям ионной имплантации, включая высокие температуры, сильные магнитные поля и агрессивные технологические газы.
Почему вольфрам и молибден?
Высокие температуры плавления:
И вольфрам, и молибден имеют очень высокие температуры плавления, что позволяет им выдерживать экстремальные температуры, возникающие во время ионной имплантации.
Коррозионная стойкость:
Они обладают превосходной коррозионной стойкостью, что очень важно при воздействии химически активных газов и побочных продуктов процесса ионной имплантации.
Высокая прочность и теплопроводность:
Эти свойства необходимы для сохранения структурной целостности компонентов и эффективного рассеивания тепла во время работы.
Высокая чистота:
Материалы высокой чистоты сводят к минимуму загрязнение ионного луча и имплантируемого материала.
Типичные компоненты ионной имплантации из вольфрама и молибдена:
Палаты:
Вакуумные камеры, в которых размещаются источник ионов и область мишени, часто изготавливаются из вольфрама, молибдена или их сплавов.
Нити:
В источниках ионов для создания плазмы, из которой извлекаются ионы, используются нити из вольфрама или вольфрамовых сплавов.
Дуговые прорези:
Эти компоненты помогают формировать и направлять ионный луч и часто изготавливаются из вольфрама или молибдена.
Держатели и катоды:
Из этих тугоплавких металлов изготавливаются различные держатели и катоды внутри источника ионов и пути луча.
Запчасти:
Вольфрамовые и молибденовые компоненты также используются для изготовления различных запасных частей и замен внутри имплантатора.
Компоненты линии луча:
Компоненты внутри линии луча, такие как ограничители луча и апертуры, также могут быть изготовлены из вольфрама или молибдена.
Примеры компаний, поставляющих компоненты ионной имплантации:
Однако тяжелые сплавы вольфрама (WHA), особенно композиции W-Ni-Fe и W-Ni-Cu, широко используются в системах ионной имплантации благодаря их исключительной плотности, радиационно-защитным свойствам и термической стабильности. Эти сплавы идеально подходят для компонентов, требующих большой массы, долговечности и устойчивости к ионной бомбардировке.
Ключевые свойства для применения ионной имплантации
✔ Высокая плотность (17–18,5 г/см³) – эффективно блокирует рассеяние ионов и улучшает управление лучом.
✔ Превосходная радиационная защита: минимизирует эмиссию рентгеновских-лучей и вторичных электронов.
✔ Высокая температура плавления и термическая стабильность. Выдерживает-бомбардировку ионами высокой энергии без деформации.
✔ Хорошая обрабатываемость – можно прецизионно-обрабатывать сложные формы (по сравнению с чистым вольфрамом).
✔ Низкая дегазация – критически важна для поддержания условий высокого вакуума в ионных имплантаторах.
Общие компоненты WHA при ионной имплантации
Ограничители и апертуры луча – контролируют и формируют ионные лучи.
Чаши Фарадея – точно измеряют ток ионного пучка.
Экранирующие блоки и коллиматоры – уменьшают нежелательное рассеяние ионов.
Компоненты для работы с пластинами – долговечные детали для обработки полупроводников.
Изоляционные компоненты – высокая диэлектрическая прочность там, где это необходимо.
Почему стоит выбрать WHA, а не чистый вольфрам?
Улучшенная обрабатываемость (благодаря связующей фазе Ni/Fe/Cu).
Более высокая вязкость разрушения (менее хрупкий, чем чистый W).
Экономичность-эффективна для сложной геометрии.
Доступные оценки и настройка
Стандартные марки: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe.
Нестандартные композиции и размеры (стержни, пластины, обработанные детали)
Поверхностная обработка: полировка, шлифовка или покрытие для повышения производительности.
Если у вас возникнут вопросы, свяжитесь с нами: info@yitechtrading.com