Мишень из сплава никеля-кобальта-ванадия изготавливается путем плавления и обработки никеля (Ni), кобальта (Co) и ванадия (V) в определенных пропорциях в форме шестиугольных или круглых пластин. Это основной «исходный» материал в технологии PVD (физическое осаждение из паровой фазы). В вакуумной среде с использованием одного из многих методов, таких как магнетронное распыление или ионно-дуговое напыление, частицы с высокой -энергией бомбардируют его, вызывая осаждение атомов или молекул целевого материала на поверхность рабочей подложки (которая может быть кремниевыми пластинами, стеклом или металлом) в виде тонкой пленки, тем самым покрывая подложку специальным функциональным покрытием.
Процесс подготовки мишеней для распыления из никелевого-кобальтового-ванадиевого сплава
Подготовка сырья: Листы электролитического никеля, блоков кобальта и ванадия чистотой выше или равной 99,95% отбираются и взвешиваются в соответствии с заданным составом (например, Ni-20Co-5V), что позволяет избежать риска загрязнения.
Вакуумная плавка: ВИМ (вакуумная индукционная плавка) — типичный процесс, обеспечивающий равномерное растворение компонентов и однородный состав получаемых слитков. Для большей однородности размеров и уменьшения сегрегации можно применять вакуумно-дуговой переплав (ВДП) в течение нескольких циклов переплавки.
Горячая ковка/горячая прокатка: после гомогенизационного отжига слитки подвергаются нескольким циклам горячей ковки и горячей вытяжки или подвергаются горячей прокатке в заготовки материала для улучшения микроструктуры и разрушения крупных зерен.
Термическая обработка: после ковки/прокатки материал подвергается дополнительному этапу обработки, на котором выполняется рекристаллизационный отжиг для снятия технологических напряжений и измельчения микроструктуры до целевого размера зерна менее или равного 100 мкм.
Прецизионная обработка и склеивание: материал обрабатывается и доводится до нужного размера путем шлифования.
Применение мишеней для распыления никелевых-кобальтовых-ванадиевых сплавов
Функциональные защитные покрытия. С помощью этих покрытий можно создавать покрытия, обладающие сверх-твёрдостью, износостойкостью-и высокой-температурой. Благодаря нанесению этих покрытий срок службы и надежность компонентов авиационных двигателей, лопаток турбин и высокотехнологичных режущих инструментов, а также поверхностей пресс-форм значительно улучшаются.
Микроэлектроника и полупроводниковая промышленность. Эти покрытия используются в качестве диффузионного барьерного слоя или адгезионного слоя. В производстве интегральных схем они используются в процессах формирования межсоединений, чтобы ограничить диффузию меди в кремниевые или диэлектрические слои и более прочно удерживать медь в основных материалах. Основными преимуществами этих покрытий являются высокая стабильность и низкое удельное сопротивление.
Прецизионная оптика и индустрия дисплеев: можно создавать покрытия высокой-плотности и высокой стабильности, а также проводящие тонкие пленки, экранирующие электромагнитное излучение.
Индустрия хранения данных: при производстве жестких дисков его можно использовать для подготовки определенных функциональных слоев магнитных головок или дисков, используя его хорошие магнитные свойства и износостойкость.
Износостойкие-и коррозионностойкие-компоненты: тонкие пленки из сплава Ni-Co-V наносятся на поверхности точного оборудования, важнейших автомобильных компонентов и химического оборудования для повышения твердости поверхности, снижения коэффициента трения и повышения коррозионной стойкости.
