Целевые характеристики FeCrAl
Форма мишени FeCrAl: Плоские мишени; цели индивидуальной-формы. FeCrAl Целевая чистота: 3N. Целевые размеры FeCrAl: Обработка по чертежам или по спецификациям.
Способ приготовления мишеней для распыления из железо-хрома-алюминиевого сплава
Подготовка сырья и смешивание порошков. Порошки железа, хрома и алюминия высокой-чистоты отбираются и взвешиваются в соответствии с целевым соотношением состава. Чтобы предотвратить окисление алюминиевого порошка, весь процесс смешивания проводится в атмосфере инертного газа (например, аргона).
Проектирование и герметизация оболочки: металлическая оболочка проектируется на основе окончательных размеров, необходимых для мишени для распыления, и в эту оболочку загружается порошок смешанного сплава.
Обработка дегазации: оболочка,-наполненная порошком, подвергается высокотемпературной-вакуумной дегазации для удаления газов, адсорбированных в промежутках порошка; этот шаг имеет решающее значение для обеспечения плотности конечного целевого материала.
Горячее изостатическое прессование (HIP): герметичная оболочка помещается в печь горячего изостатического прессования, где под совместным воздействием высокой температуры и огромного равномерного давления порошок подвергается прямой консолидации с образованием плотной целевой заготовки.
Механическая обработка: с помощью различных методов механической обработки,-таких как токарная и фрезерная обработка-, заготовка превращается в конечный целевой продукт для распыления, отвечающий всем указанным требованиям к размерам и точности.
Применение мишеней для распыления из железных-хромовых-алюминиевых сплавов
Аэрокосмическая отрасль: лопатки турбин двигателей, связующие покрытия для термобарьерных покрытий в камерах сгорания; обеспечивает стойкость к высокотемпературному-окислению и горячей коррозии.
Энергетика и энергетика: водяные стенки котлов, газовые турбины и высоко-компоненты на атомных электростанциях; служит анти-коррозионным и износостойким-покрытием.
Промышленное оборудование: ролики печей термообработки, формы для стекла и внутренние футеровочные покрытия для химических реакторов.
Электроника/сенсоры: диффузионные барьерные слои, электроды, тензорезисторы и тонкие магнитные пленки.
При использовании в качестве «мишенных материалов» мишени из сплава Fe-Cr-Al принимают форму плоских пластин или вращающихся трубок определенных размеров; к ним предъявляются исключительно строгие требования в отношении чистоты материала, плотности и однородности их внутренней микроструктуры, чтобы удовлетворить требования прецизионного магнетронного распыления.
