Никелевые-хромовые-алюминиевые сплавы представляют собой класс функциональных целевых материалов, которые обладают высокой-температурной стабильностью, стойкостью к окислению и отличными характеристиками распыления. Они широко используются при изготовлении высоко-защитных покрытий, износостойких-покрытий, тонких полупроводниковых пленок и сенсорных электродов. Основные требования к их приготовлению включают однородность состава, высокую плотность (не менее 98 % от теоретической плотности), мелкозернистую микроструктуру и низкое содержание примесей (O, C, N и т. д., менее или равное 500 ppm) для обеспечения стабильного состава пленки и равномерной скорости осаждения в процессе распыления.
Способ приготовления мишеней для распыления из никелевого-хромового-алюминиевого сплава
Предварительное-прессование: смешанный порошок загружается в графитовую форму и формуется в заготовку в печи горячего прессования.
Трех-этапное горячее прессование и спекание:
Первый этап: Завершение дегазации и первичного спекания;
Второй этап: Стимулирование легирования;
Третий этап: Достижение полного уплотнения (относительная плотность > 99%) и измельчения зерна, формирование слитка, близкого к теоретической плотности.
Варианты использования мишеней для распыления никелевых-хромовых-алюминиевых сплавов
Аэрокосмическая промышленность: улучшена стойкость компонентов к термической коррозии и увеличен срок службы при использовании в качестве термобарьерного покрытия в авиационных двигателях и защитных покрытий на лопатках турбин и других компонентах двигателей.
Энергетическое оборудование: Защитные покрытия на лопатках газовых турбин и других компонентах оборудования ядерной защиты. Тепловые котлы атомных электростанций также имеют защитное покрытие. Обеспечивает стабильную работу оборудования в условиях высоких-температур.
Электронная промышленность: может использоваться для изготовления тонких резистивных пленок, защитных слоев для электронных компонентов и т. д., используя его высокое удельное сопротивление и стабильные физические и химические свойства для удовлетворения требований к производительности электронных компонентов.
Производство промышленного оборудования: может использоваться в качестве защитных покрытий для роликов печей термообработки, термостойких-футеровок химических реакторов, поверхностного упрочнения стеклянных форм и т. д., повышая износостойкость и коррозионную стойкость промышленного оборудования.
Декоративное поле: используется для обработки поверхности ювелирных изделий, часов, мобильных телефонов и других изделий, образуя красивое декоративное покрытие и одновременно обеспечивая защиту.
