Описание продукции

Танталовая распыляемая мишень состоит из высокочистого стального серого тантала. Тантал — это голубовато-серый глянцевый переходный металл с высокой коррозионной стойкостью. Он входит в категорию тугоплавких металлов и широко используется в качестве второстепенного компонента в сплавах. Тантал темный (голубовато-серый), плотный, пластичный, очень твердый, простой в производстве и обладает высокой тепло- и электропроводностью. Этот металл известен своей стойкостью к кислотной коррозии. Фактически, при температурах ниже 150 градусов тантал почти полностью невосприимчив к обычной царской водке.

Танталовая мишень для распыления производится методом электронно-лучевой плавки. Обычно применяется для магнитных носителей записи, компонентов принтеров, плоских дисплеев, оптики, промышленного стекла и тонкопленочных резисторов. Высокочистая танталовая мишень для распыления обычно используется в полупроводниковой промышленности. Ее высокая естественная прочность с низким коэффициентом теплового расширения, а также способность прилипать как к меди, так и к кремнию, делают ее идеальным выбором для диффузионного барьера, предотвращающего взаимодействие меди и кремния.

Yitech — профессиональный производитель танталовых распыляемых мишеней различной формы и чистоты, которые в основном применяются в полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Благодаря нашим специальным процессам формования наши танталовые распыляемые мишени обладают более высокой плотностью, меньшим средним размером частиц, а также более высокой чистотой, так что вы можете извлечь выгоду из более быстрого процесса за счет более высокой скорости распыления и получить очень однородные слои тантала.

Микроструктуру можно регулировать с помощью нашего гибкого производственного процесса, чтобы достичь желаемого эффекта. Если зерна распыляемой мишени равномерно выровнены, пользователь может получить выгоду от постоянных скоростей эрозии и однородных слоев. Ниже приведены две микрофотографии нашей распыляемой мишени из тантала, средний размер зерна <100 мкм.

Имя атрибута:Мишень для распыления металла высокой чистоты

Название продукта: танталовая распылительная мишень

Символ элемента:Ta

Чистота: 3N5, 4N, 4N5, 5N

Форма:Плоская мишень, вращающаяся мишень