Мишени из никель-ниобиевого сплава представляют собой мишени для распыления, изготовленные путем плавления никеля (Ni) и ниобия (Nb) как основных элементов в определенной пропорции. В основном они используются в процессах физического осаждения из паровой фазы (PVD), особенно магнетронного распыления, для изготовления функциональных тонких пленок на различных подложках.
Метод приготовления мишеней из никель-ниобиевого сплава
1. Подготовка сырья. В качестве сырья выберите порошки никеля и ниобия высокой-чистоты, гарантируя, что их чистота соответствует требованиям к подготовке мишени. Например, чистота порошков никеля и ниобия может достигать более 99,9%.
2. Смешивание порошков. Точно взвесьте порошки никеля и ниобия в соответствии с расчетным соотношением состава сплава и тщательно перемешайте их в смесительном устройстве. Для обеспечения равномерного смешивания можно использовать шаровую мельницу, контролируя соответствующее время измельчения и соотношение шаров-к-материалу.
3. Прессование: однородно смешанные порошки помещаются в форму и прессуются с помощью холодного изостатического прессования (CIP) или горячего изостатического прессования (HIP) для получения целевой заготовки определенной плотности и прочности. Холодное изостатическое прессование (CIP) позволяет осуществлять первоначальное уплотнение порошка при относительно низком давлении, а HIP дополнительно увеличивает плотность целевой заготовки при высокой температуре и высоком давлении.
4. Спекание: прессованная заготовка мишени спекается в вакуумной печи для устранения пор между частицами порошка и улучшения плотности и характеристик мишени. Температура и время спекания являются ключевыми параметрами. Температура спекания обычно варьируется от 1000 до 1500 градусов, а время спекания составляет от нескольких часов до нескольких десятков часов. Оптимизация зависит от состава и размера цели.
5. Механическая обработка. После спекания мишень требует механической обработки, такой как точение и шлифование, для достижения желаемых размеров и качества поверхности.
Применение мишеней из никелевых-нибиевых сплавов
Полупроводники: их можно использовать для напыления для формирования барьерных слоев, электродов и межсоединений. Тонкие пленки из сплава никеля-нибия эффективно предотвращают диффузию атомов металла, повышая производительность и надежность полупроводниковых устройств и имеют решающее значение для производства интегральных схем.
Технология отображения. В плоских-дисплеях, таких как OLED и жидкокристаллические дисплеи, мишени из никелевого-нибиевого сплава могут использоваться для формирования электродов или отражающих слоев, что помогает улучшить яркость экрана, скорость отклика и стабильность цвета.
Оптическое покрытие. Их можно использовать для формирования различных оптических покрытий, таких как пленки, отражающие инфракрасное излучение, и пленки,-стойкие к лазерному повреждению, для применения в прецизионных оптических устройствах, лазерных системах и оптических инструментах, отвечающих разнообразным требованиям к оптическим характеристикам.
Износостойкое-и коррозионно--стойкое покрытие. Благодаря своей превосходной стойкости к износу и коррозии мишени из никелевых-нибиевых сплавов можно использовать для формирования износостойких- и коррозионно--тонких пленок на механических деталях и поверхностях инструментов, что увеличивает срок службы и производительность компонентов. Они имеют широкие перспективы применения в таких отраслях, как аэрокосмическая промышленность, автомобилестроение и машиностроение.
