Мишени для распыления из сплавов никель-кобальт-железо содержат определенные пропорции никеля (Ni), кобальта (Co) и железа (Fe). Из этих сплавов изготавливают плоские или вращающиеся мишени для распыления и используют в полупроводниковой, фотоэлектрической, прецизионной оптике и производстве функциональных покрытий. Изготовление этих сплавов специфично и требует внимания к деталям, чтобы добиться однородного химического состава, плотности твердого- состояния, равномерного гранулирования и качества поверхностей.
Способ приготовления мишеней для распыления из никелевого-кобальтового-железного сплава
Плавка сырья: блоки никеля, кобальта и железа высокой чистоты дозируются и помещаются в вакуумную индукционную плавильную печь. Материалы нагревают в вакууме до полного расплавления и перемешивают, чтобы предотвратить расслоение состава.
Литье и формовка: расплавленный сплав никель-кобальт-железо заливают в графитовую форму и закаливают, чтобы получить легирующую заготовку и предотвратить образование крупных зерен.
Ковка и прокат. Сплавы подвергаются высокотемпературной-ковке и горячей прокатке для разрушения литой структуры.
Механическая обработка и склеивание. Материал из сплава никеля-кобальта-железа распиливается-по заданной форме и синтезируется.
Применение мишеней для распыления из никелевых-кобальтовых-железных сплавов
Интегральные схемы, где он используется для слоев диффузионного барьера Cu, двухслойных электродов Ta/CoFe и свободных слоев магнитных туннельных переходов (MTJ).
Тонкопленочные солнечные элементы-, в которых они служат задним электродом или буферным слоем для улучшения омического контакта и устойчивости к атмосферным воздействиям.
МЭМС и датчики, где он используется при производстве индукторов с низкими-потерями, магнитных экранирующих слоев и микро-магнитных приводов.
Поверхностные функциональные покрытия, где они используются в качестве износостойких-, коррозионно--стойких и декоративных покрытий для автомобильных деталей, аэрокосмических креплений и биомедицинских имплантатов.
